利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地dao致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長，所以白光干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所*的。

 

　　白光干涉儀的特征：

　　◆較高的垂直分辨率，較*的測量性能；

　　0.5~200倍的放大倍率；

　　任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程；

　　高分辨率攝像頭；

　　◆測量硬件的*設計，增強生產環境中的可靠性和重復性；

　　較高的震動的容忍度和GR&R測量的能力

　　自動校準能力；

　　◆多核處理器下運行的Vision64軟件，大大提高三維表面測量和分析速度

　　數據處理速度提高幾十倍；

　　分析速度提高十倍；

　　無以倫比的大量數據無縫拼接能力；

　　◆高度直觀的用戶界面，擁有較強的實用性，操作簡便和分析功能*

　　優化的用戶界面大大簡化測量和數據分析過程；

　　*的可視化操作工具；

　　可自行設置數據輸出的界面。